线形
系列 | 截面 | 测量长度 | 精度 | 信号 | 分辨率可达 | 型号 |
---|---|---|---|---|---|---|
F Series |
440 mm - 30 m | ± 5 µm | TTL | 5 µm | FT / FOT | |
TTL differential | 1 µm | FX / FOX | ||||
1 Vpp |
Up 0,1 μm
|
FP / FOP | ||||
C/C2 Series |
220 mm - 3 040 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | CT / COT | |
± 5 µm | TTL differential | 1 µm | CX / COX | |||
1 Vpp | Up 0,1 µm | CP / COP | ||||
M/M2 Series |
40 mm - 1 540 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | MT / MOT | |
70 mm - 1 540 mm | TTL differential | M2TD | ||||
TTL | MKT | |||||
± 5 µm | TTL differential | 1 µm | M2X / M2OX | |||
± 10 µm | MKX | |||||
± 5 µm | 1 Vpp | Up 0,1 µm | M2P / M2OP | |||
MM/MM2 Series |
40 mm - 520 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | MMT | |
120 mm - 520 mm | MMKT | |||||
± 5 µm | TTL differential | 1 µm | MM2X/MM2OX | |||
± 10 µm | MMKX | |||||
± 5 µm | 1 Vpp | 0,1 µm | MM2P/MM2OP |